heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm

測量原理 測量基準

海德漢公司的光學掃描光柵尺或編碼器的 測量基準都是周期刻線－光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長 度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。 海德漢公司用以下特別開發的光刻工藝 制造精密光柵。

• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條， 典型柵距40 µm

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線， 典型柵距20 µm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵 距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵 （典型柵距8 µm）

• SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格 柵線條；*抗污能力；典型柵距不超 過8 µm

• OPTODUR相位光柵：光學三維平面格柵 線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵 外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均 勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰 的刻線是輸出高質量信號的關鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密 刻線機制造。

測量法

測量法是指編碼器通電時就立即提供 位置值并隨時供后續信號處理電子電路讀 取。無需移動軸執行參考點回零操作。絕 對位置信息來自光柵碼盤，它由一系列絕 對碼組成。單獨的增量刻軌信號用于在細 分后得到位置值，同時也生成供選用的增 量信號（與接口類型有關）。

增量測量法

增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位 置信息通過計算自某個設置的原點開始的 增量數（測量步距數）獲得。由于必須用 參考點確定位置值，因此測量基準的 光柵尺上還刻有一個參考點軌。參考點確 定的光柵尺帶的位置值可以精確到一 個信號周期。因此，必須通過掃描參考點 建立基準點或確定上次選擇的原點。 差情況時，機床需要移動測量范圍上的 較大部分。為加快和簡化“參考點回零” 操作，許多海德漢光柵尺刻有距離編碼參 考點，這些參考點彼此相距數學算法確定 的距離。移過兩個相鄰參考點后（一般只 需運動數毫米）（見下表），后續電子電 路就能找到參考點位置。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm

LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量式直線光柵尺，精度高和重復精度高

• 測量步距可達0.001 µm（1 nm）或更小

• 用于高運動速度和大測量長度

• 測量基準用固定架固定

• 由光柵尺和讀數頭組成

如有需要詳情，請見： heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm